Ofentechnologie

Wir sind qualifiziert und produzieren für alle namhaften OEM Partner

WONIK Quartz Europe (WQE) ist von allen namhaften OEM Partnern für ihre Anlagen qualifiziert. 

  • ASM
  • Aviza
  • BTI
  • Centrotherm
  • Kokusai
  • LPE
  • Mattson
  • Tokyo Electron 

Bevorzugt verarbeiten wir klares und opaques Quarzglas von Momentive (GE) und Heraeus.

Alle Bedarfe für Quarzprodukte in der horizontalen und vertikalen Ofentechnologie werden von WQE nach Zeichnung gefertigt. Das beginnt mit der Ampullenfertigung ab 4“ und erstreckt sich auf Horizontal – und Vertikalöfen von 6“ Batchsystemen bis zum High End 12“ Ofen.

Made in Germany

Made in Germany ist für uns noch selbstverständlich bei der Fertigung von horizontalen und vertikalen Prozessrohren, Linern, Booten, Planschliffkappen, Pedesteln, Torch Chambers, Injektoren und allen weiteren Teilen, die in der Ofentechnik gebraucht werden.

Kontinuierliche Innovation

Natürlich entwickeln wir auch in enger Zusammenarbeit mit unseren Kunden fortlaufend Verbesserungen, um der Nachfrage an Innovation und besten Produkten aus Quarzglas gerecht zu werden.

Ofentechnologie

Ampullen 2“-4“

Typische Produkte
  • Ampullen / Stopfen
  • Scheibenträger
  • Substrattträger

Batch horizontal 4“-8“

Hersteller
  • Kokusai Electric (BTU, BTI)
  • Centrotherm
  • SEMCO Engineering
  • Tempress
  • Thermco
  • Andere
Typische Produkte
  • Prozessrohre
  • Liners
  • Boote
  • Träger
  • Paddles
  • Planschliffkappen
  • Baffles
  • Schliffverbindungen
  • Injektoren

Batch vertikal 6“-12“

Hersteller
  • TEL
  • ASM
  • ASML
  • Kokusai Electric
  • Koyo Lindberg
Typische Produkte
  • Processtubes
  • CVD Tubes
  • ATM Tubes
  • Carriers
  • Holderboats
  • Ringboats
  • Fin Pedestals
  • Tube Pedestals
  • Caps
  • Cap Covers
  • Manifold Covers
  • Plate Holders
  • Shutter Plates
  • Dust Covers
  • Doors
  • Exhaust Rings
  • Suspension Rings
  • Adapter Plates
  • Heat Shields
  • Exhaust / Inlet Tubes
  • Sleeves
  • Torch Chambers
  • Balloons
  • TC-Tubes
  • Injectors / Nozzles

Zertifizierungen

WONIK Quartz Europe produziert alle Teile in der Halbleiterindustrie

Als Teil einer erstklassigen Konzernorganisation sind wir weltweit führender Hersteller und Lieferant von Quarzglaskomponenten für die Halbleiter- und Mikroelektronikindustrie.

Qualität

Die Zufriedenheit und das Vertrauen unserer Kunden gehören zu den wichtigsten Unternehmenszielen. Wir setzen dafür auf unser zertifiziertes integriertes Managementsystem.

Weitere Vorzüge

Die Zugehörigkeit zur WONIK Gruppe bringt nicht nur WQE durch ständigen Wissensaustausch Vorteile, sondern gewährleistet durch die Niederlassungen auf dem gesamten Globus, auch die Versorgungssicherheit gegenüber unseren Kunden.