Ofentechnologie
Wir sind qualifiziert und produzieren für alle namhaften OEM Partner
WONIK Quartz Europe (WQE) ist von allen namhaften OEM Partnern für ihre Anlagen qualifiziert.
- ASM
- Aviza
- BTI
- Centrotherm
- Kokusai
- LPE
- Mattson
- Tokyo Electron
Bevorzugt verarbeiten wir klares und opaques Quarzglas von Momentive (GE) und Heraeus.
Alle Bedarfe für Quarzprodukte in der horizontalen und vertikalen Ofentechnologie werden von WQE nach Zeichnung gefertigt. Das beginnt mit der Ampullenfertigung ab 4“ und erstreckt sich auf Horizontal – und Vertikalöfen von 6“ Batchsystemen bis zum High End 12“ Ofen.
Made in Germany
Made in Germany ist für uns noch selbstverständlich bei der Fertigung von horizontalen und vertikalen Prozessrohren, Linern, Booten, Planschliffkappen, Pedesteln, Torch Chambers, Injektoren und allen weiteren Teilen, die in der Ofentechnik gebraucht werden.
Kontinuierliche Innovation
Natürlich entwickeln wir auch in enger Zusammenarbeit mit unseren Kunden fortlaufend Verbesserungen, um der Nachfrage an Innovation und besten Produkten aus Quarzglas gerecht zu werden.
Ofentechnologie
Ampullen 2“-4“
Typische Produkte
- Ampullen / Stopfen
- Scheibenträger
- Substrattträger
Batch horizontal 4“-8“
Hersteller
- Kokusai Electric (BTU, BTI)
- Centrotherm
- SEMCO Engineering
- Tempress
- Thermco
- Andere
Typische Produkte
- Prozessrohre
- Liners
- Boote
- Träger
- Paddles
- Planschliffkappen
- Baffles
- Schliffverbindungen
- Injektoren
Batch vertikal 6“-12“
Hersteller
- TEL
- ASM
- ASML
- Kokusai Electric
- Koyo Lindberg
Typische Produkte
- Processtubes
- CVD Tubes
- ATM Tubes
- Carriers
- Holderboats
- Ringboats
- Fin Pedestals
- Tube Pedestals
- Caps
- Cap Covers
- Manifold Covers
- Plate Holders
- Shutter Plates
- Dust Covers
- Doors
- Exhaust Rings
- Suspension Rings
- Adapter Plates
- Heat Shields
- Exhaust / Inlet Tubes
- Sleeves
- Torch Chambers
- Balloons
- TC-Tubes
- Injectors / Nozzles
Zertifizierungen
WONIK Quartz Europe produziert alle Teile in der Halbleiterindustrie
Als Teil einer erstklassigen Konzernorganisation sind wir weltweit führender Hersteller und Lieferant von Quarzglaskomponenten für die Halbleiter- und Mikroelektronikindustrie.